一种高纯度碳化硅原料的制备方法、晶圆及系统

本发明涉及碳化硅原料制备领域，具体涉及一种高纯度碳化硅原料的制备方法、晶圆及系统，制备方法，过滤分离石墨粉和酸液时使用过滤装置进行过滤，操作为：先将酸化完毕的石墨粉和酸液一同倒入到竖向的桶体中，石墨粉堆积在过滤件上，上腔中的酸液积聚在石墨粉的上方；然后将桶体进行横放，过滤件上的石墨粉倾倒在桶体的内壁上，酸液通过过滤件流向下腔；最后将桶体从横向放置转动为竖向放置，酸液继续通过过滤件流向下腔，同时打开排液阀，下腔中的酸液通过排液管排出。通过本方案，解决了在对石墨粉和酸液进行过滤时，石墨粉对酸液下渗具有阻碍的问题，提高了酸液下渗的速度，提高了过滤的速度。