一种石英坩埚的制备方法

本发明提供一种石英坩埚的制备方法，属于坩埚技术领域，包括以下步骤：S1、向熔融石英粉体中添加SiNO，SiNO的添加量为熔融石英粉体质量的10‑30wt%，得到混合物；S2、将混合物与有机单体溶液混合，固含量控制在40‑60%，经球磨形成陶瓷浆料；S3、向陶瓷浆料中加入引发剂溶液，倒入模具中，在50‑70℃下水浴固化20‑40min，脱模干燥后得到生坯；S4、将生坯在氮气气氛下，加热升温至1200‑1400℃，保温2‑6小时，得到石英坩埚基体；S5、在石英坩埚基体内表面涂覆α‑SiN涂层，并在空气中预氧化处理，预氧化温度为900‑1100℃，时间为1‑3h，然后置于氩气气氛中加热至1450‑1500℃，持续时间为0.5‑1h，冷却后得到石英坩埚。本发明通过引入SiNO改性石英坩埚，显著提升其高温稳定性和使用寿命。