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一种降低CaTiO基氧化物材料与金属材料界面接触电阻的方法
发明专利有效
7权利要求 · 1 独立
§ Ⅰ
卷宗概要
发明人
李建波; 杜曼柳; 陈章; 王俊
IPC 分类
C04B 35/465 (2006.01)C04B 35/622 (2006.01)C04B 35/645 (2006.01)C04B 41/87 (2006.01)
本发明公开了一种降低CaTiO基氧化物材料与金属材料界面接触电阻的方法,属于降低氧化物材料界面电阻技术领域。该方法包括:制备含氧空位的CaTiO基氧化物材料并切割获得坯体;将坯体埋入碳粉中进行高温高真空处理,得到表面具有低电阻层的CaTiO基氧化物材料。现有技术中,CaTiO基氧化物可通过产生氧空位获得导电性,但界面接触电阻高的问题限制了其应用。本发明通过碳粉埋烧工艺在材料表面形成低电阻层,能显著降低与金属材料的界面接触电阻,且解决了现有方法成本高、工艺复杂、稳定性差的缺陷,有利于该类材料在电子器件等领域的推广应用。