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一种用于正性光刻胶的剥离液组合物及其制备方法
发明专利有效
10权利要求 · 2 独立
§ Ⅰ
卷宗概要
发明人
白晓鹏; 高峰; 陈琨; 申阳; 李泰亨
IPC 分类
G03F 7/42 (2006.01)
本发明涉及液晶面板生产技术领域,具体涉及一种用于正性光刻胶的剥离液组合物及其制备方法。本发明的正性光刻胶剥离液组合物,其原料组分包括醇胺溶剂、极性溶剂、金属腐蚀抑制剂;还包括二氧化碳吸附剂、除氧剂,以抑制药液在生产、运输以及使用过程中与空气接触导致的胺降解,提高药液的寿命即处理基板的枚数;还包括金属离子螯合剂,通过金属离子螯合剂与金属离子的强结合作用,使金属离子进入到螯合剂内部,形成稳定的可溶性化合物,阻止金属离子对胺氧化降解的催化作用。本发明的剥离液组合物,在生产、运输以及使用过程中醇胺的稳定性更好,即醇胺的下降速率更慢,以使药液的寿命更高,可处理基板的枚数更多。