真空蝶阀的压力控制方法、系统、设备及存储介质

本发明涉及压力控制技术领域，公开了一种真空蝶阀的压力控制方法、系统、设备及存储介质，根据腔体内部压力和预设的目标压力得到压力控制误差信号和误差变化率；基于压力控制误差信号和误差变化率确定复合控制器的计算结果；将复合控制器的计算结果输入平滑切换函数，计算混合输出量，并通过粒子群寻优算法寻找平滑切换函数当前环境下最优平滑因子和误差切换阈值；采用补偿函数对复合控制器的混合输出量进行非线性补偿，将经过非线性补偿后的控制量通过电机驱动转换为步进电机的转动步数，采用步进电机控制蝶阀的转动角度；本发明提高控制精度和动态性能。