用于离子注入机的高压切换装置

本申请公开了一种用于离子注入机的高压切换装置，用于实现第一高压电源和第二高压电源之间的切换，第一高压电源和第二高压电源用于给源气箱施加电压，高压切换装置包括控制板和第一切换模块，第一高压电源通过第一切换模块与源气箱电连接，第二高压电源通过第一切换模块与源气箱电连接，第一切换模块可选择性地与第一高压电源或与第二高压电源接通，第一切换模块与控制板电连接，控制板根据离子注入机的工作模式控制第一切换模块的接通状态以将源气箱与第一高压电源或与第二高压电源接通。本申请能根据离子注入机所处的工作模式切换与源气箱接通的高压电源，通过第一切换模块实现高压的快速切换，使得离子注入机的能量与工作模式的匹配。