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具有渐变占空比周期调制光栅结构的激光器
发明专利有效
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§ Ⅰ
卷宗概要
发明人
任梦涵; 曹玉莲; 刘建国; 刘泽秋; 贾烁弘
IPC 分类
H01S 5/065 (2006.01)H01S 5/026 (2006.01)H01S 5/12 (2021.01)H01S 5/20 (2006.01)H01S 5/30 (2006.01)
本发明提供一种具有渐变占空比周期调制光栅结构的激光器,激光器包括衬底和外延层;外延层设置在衬底上,外延层包括层叠的缓冲层、光栅层、光栅盖层、下限制层、有源层、上限制层、腐蚀截止层、包层和接触层;光栅层的结构为具有渐变占空比的周期调制光栅结构,光栅层位于N型掺杂侧。本发明的具有渐变占空比周期调制光栅结构的激光器,有利于提高激光器的边模抑制比和带宽。