一种弹性波器件及其制作方法和滤波器装置

本申请公开了一种弹性波器件，包括有图案的支撑基板；形成于所述支撑基板之上的绝缘层；形成于绝缘层之上的压电基板；绝缘层包括氧化硅薄膜，氧化硅薄膜中的氢浓度不高于0.05原子百分比。还提出了其制作方法，包括在支撑基板上制作绝缘层，绝缘层包括氧化硅薄膜，并对氧化硅薄膜进行热处理以使得氧化硅薄膜中的氢浓度不高于0.05原子百分比；在绝缘层上制作压电基板。本申请通过将绝缘层中的氧化硅薄膜氢浓度控制在不高于0.05原子百分比的极低水平，使其致密无空洞或空洞极小(尺寸小于20nm)，确保了良好的晶圆接合，并为弹性波器件带来了Q值的显著提升、介电损耗的改善以及声速的稳定性和频率的精度。