一种用于预测密封环剥离缺陷的方法

一种用于预测密封环剥离缺陷的方法，该方法包括：提供已完成前段工艺且形成有密封环的晶圆；对所述晶圆进行至少一次退火处理，并在每次所述退火处理后对所述密封环执行缺陷检测；基于所述缺陷检测的检测结果评估所述晶圆在后续背照式工艺中发生密封环剥离缺陷的风险。本发明能够在前段工艺中预测密封环在背照式工艺中发生剥离缺陷的风险，从而节约成本，提高良率。