一种晶圆清洗系统和方法

本公开提供了一种晶圆清洗系统和方法，系统包括清洗液供给装置、兆声波换能器、传感装置以及控制装置，其中，清洗液供给装置用于向晶圆的表面施加清洗液；兆声波换能器被配置为在清洗液中产生兆声波场；传感装置被配置为实时监测用于表征所述兆声波换能器到所述清洗液的能量传输效率的声学特性；控制装置与传感装置和兆声波换能器通信连接，其中，控制装置被配置为响应于传感装置监测到的声学特性，动态调整兆声波换能器的至少一个操作参数，以优化能量传输效率。