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衬底转移装置

发明专利有效
10权利要求 · 1 独立
§ Ⅰ

卷宗概要

发明人

徐起洙; 申宗秀; 柳锡; 柳呈周; 李钟沅

IPC 分类

H10P 72/30 (2026.01)H10P 72/78 (2026.01)H10K 71/00 (2023.01)H10K 59/12 (2023.01)

本公开的实施方式提供一种衬底转移装置,衬底转移装置包括:基础板;第一吸附模块,联接到基础板,第一吸附模块的位置在第一方向上是可调整的,并且第一吸附模块配置为吸附第一衬底;以及第二吸附模块,联接到基础板,第二吸附模块的位置在第二方向上是可调整的,并且第二吸附模块配置为吸附第一衬底。