晶圆自动装载的旋转检测装置

本发明涉及晶圆检测技术领域，具体涉及一种晶圆自动装载的旋转检测装置，主要解决现有晶圆旋转检测装置无法自动装载的技术问题。本装置包括支撑台、Y向驱动副、Z向驱动副、旋转副、真空吸盘、高度切换驱动副、承接环和光学检测组件，一方面通过Y向驱动副能够使装置在上料状态、下料状态和检测状态之间切换，以依次完成上料、检测和下料；另一方面通过设有缺口的承接环对接机械手，使承接环作为机械手与真空吸盘之间的中转站，从而能够配合外置机械手实现晶圆的自动上下料。如此，两方面配合能够实现晶圆的自动装载，无需人为干预，从而能够提高装载效率和装载精度，同时降低人工成本。