温度调节系统以及温度调节系统的控制方法

一种温度调节系统，对等离子体处理腔室内的部件进行冷却，其包括罐、冷却机构、流出流路、流入流路以及泵。罐构成为贮存在常温常压下为气体的温度调节介质。冷却机构构成为使罐内贮存的温度调节介质液化。流出流路构成为与罐的流出口连接，使温度调节介质向通过温度调节介质的热交换而冷却部件的温度调节部流出。流入流路构成为与罐的流入口连接，使热交换后的温度调节介质从温度调节部流入。泵构成为被设置在流出流路中，将罐中贮存的温度调节介质送出。