一种利用氯硅烷废液制备高纯石英砂的工艺方法及生产系统

本发明公开了一种利用氯硅烷废液制备高纯石英砂的工艺方法及生产系统，属于多晶硅副产物资源化利用技术领域。以氯硅烷废液为原料进行固液分离处理，将所得的高纯物料汽化，并使之与水蒸气混合进行气相水解反应，再将反应生成的二氧化硅颗粒进行煅烧处理，即得所述高纯石英砂。本发明实现了多晶硅渣浆处理装置中废液的资源化利用，以多晶硅渣浆处理过程中产生的氯硅烷废液作为起始原料，通过固液分离、气相水解和煅烧等一系列工序，制得高纯度石英砂产品。所得产品可用于多晶硅领域，作为坩埚制造的原材料，其中，气相水解工艺有助于形成粒径分布更为均匀的石英砂颗粒，提升产品品质。