一种沉积设备

本申请公开了一种沉积设备，包括外壳、磁控装置、电源、导电连接件和馈入件。磁控装置包括驱动件、磁控件和联轴器，驱动件安装在外壳上，驱动件设有输出轴，磁控件设有输入轴，输出轴通过联轴器与输入轴连接，并且输出轴和输入轴同轴。电源安装在外壳上，电源通过导电连接件与馈入件连接，导电连接件套设于输入轴，馈入件用于与靶材连接。驱动件能够通过联轴器与磁控件连接，实现磁控件绕靶材的轴线旋转。从而使沉积设备的驱动结构更加紧凑、简化沉积设备的结构并降低成本的同时，保证电流传导的均匀性。