一种高稳定性晶圆缺陷检测设备

本发明公开了一种高稳定性晶圆缺陷检测设备，属于晶圆缺陷检测技术领域。一种高稳定性晶圆缺陷检测设备，包括大理石平台，所述大理石平台上安装有产品夹盘及成像检测模块，所述产品夹盘位于成像检测模块的下方；所述成像检测模块包括支撑架，所述支撑架上安装有相机组件及多镜头自动切换器，所述多镜头自动切换器位于产品夹盘的上端，所述支撑架中部安装有明视场光源、下部安装有暗视场光源；本发明通过模块化设计将成像检测模块、移送平台、自动化上下料系统、抗振结构等有机整合，各部件协同配合度高，维护便捷；宽光谱光学系统与多吸附方式、多载具对接的设计，减少了设备更换与调试的时间成本；实现了高速度、高灵敏度、高成像清晰度。