用于测试半导体样品的自动化系统和自动化方法

提供了用于测试半导体样品的自动化系统和自动化方法。该自动化系统可以包括：保持器，被配置为保持半导体样品；容器，被配置为保持试剂；夹持器，被配置为夹持该保持器；机器人，包括末端执行器，末端执行器被配置为在夹持模式和释放模式之间操纵夹持器；以及测试装置，被配置为测试半导体样品并且包括：装载区域，在该处装载容器和保持器；处理区域，在该处使用末端执行器将保持器浸入到容器内的试剂中，并且旋转保持器以化学处理半导体样品；清洗区域，在该处使用连接到末端执行器的夹持器清洗保持器和半导体样品；以及干燥区域，在该处使用连接到末端执行器的夹持器干燥保持器和半导体样品。