用于高电压测试待测装置的测试系统及测试方法

本发明涉及一种用于高电压测试待测装置的测试系统及测试方法，提供气体监控装置及控制单元，以具备压力与流量同步监控功能的高电压测试用探针卡系统，于气体进入探针卡总成的气体空间之前，即配置压力及流量传感器，且搭配所述气体监控装置与所述控制单元，建构完整而封闭式的控制机制。