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光固化组合物及其配置方法与应用

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§ Ⅰ

卷宗概要

发明人

余刚; 马双; 王东平

IPC 分类

G03F 7/004 (2006.01)G03F 7/00 (2006.01)

本发明涉及化学领域,具体涉及光固化组合物及其配置方法与应用,该光固化组合物包括硅烷水解单体、膨胀单体、光致产酸剂、质子酸及溶剂;所述硅烷水解单体包括至少两种的结构通式为RnSiL4‑n(1≤n<4)的化合物且一定包括甲基三甲氧基硅烷和四甲氧基硅烷,其中,R为甲基、乙基、正丁基、叔丁基及苯基中的任一种,L为可水解基团;所述膨胀单体包括3,4‑环氧环己基甲基‑3,4‑环氧环己基甲酸酯、1,4‑环己二酮单缩酮及2‑甲基‑4‑苯基‑1,3‑二氧戊环中的任一种或组合;所述光致产酸剂使得光固化组合物的响应波长高于300nm,该光固化组合物在保证均一性、粘度的情况下,收缩率低,采用紫外‑纳米压印能够得到高对比度的图案。