基于图形化MOCVD监控系统

本发明涉及MOCVD高精度材料制备技术领域，提出了基于图形化MOCVD监控系统，方案包括四大协同模块：边缘感知模块采用双PLC热备架构、“工艺阶段－质量目标－阈值参数”三维映射及同步采集机制，实现多阶段动态控制与“生长过程－材料质量”实时关联；多模数据存储模块融合时序/关系/图引擎，结合主从切换与维护知识图谱，适配多类型数据存储并提升故障方案匹配效率；智能运算模块通过强化学习PID、1:1反应腔孪生体及LSTM模型，实现工艺参数自适应优化、工艺预演及设备故障预警；交互决策模块依托可视化联动、三级权限管控及区块链日志，提升操作直观性与安全性。