一种晶圆贯穿划痕检测方法及系统

本申请提供一种晶圆贯穿划痕检测方法及系统，涉及晶圆缺陷检测技术领域。本申请在基于目标晶圆的多个局部表面区域各自的观测图像，提取出各个局部表面区域分别对应的局部贯穿划痕后，会针对每个局部表面区域，检测其涉及的每条局部贯穿划痕的两个划痕端点是否均属于晶圆边缘端点，以便将两个划痕端点均属于晶圆边缘端点的局部贯穿划痕直接作为晶圆贯穿划痕，或者在相邻局部表面区域处检测与该局部贯穿划痕归属于同一划痕缺陷的局部贯穿划痕，而后针对由所有局部表面区域各自的归属于同一划痕缺陷的局部贯穿划痕合并出的候选合并划痕，将两个划痕端点均属于晶圆边缘端点的候选合并划痕作为晶圆贯穿划痕，从而实现晶圆贯穿划痕精准检测功能。