一种改善超结功率器件IGSS失效的方法

本发明提供一种改善超结功率器件IGSS失效的方法，涉及功率器件超结良率提升技术领域。包括：根据晶圆测试或晶圆接受测试结果，确认失效区域的失效参数为IGSS；对IGSS确定出多个失效原因；根据第一失效原因，确定对应的多个制定化方案，并执行多个制定化方案，以确定出对应的多个执行结果；根据单元区的硅钉，确定失效的形貌与预设刻蚀工艺产生的黑硅分布具有关联性；在具有关联性时获取最优的刻蚀工艺配方，并根据最优的刻蚀工艺配方优化失效的形貌的底部；通过调整气体配比，在预设范围的角度形貌内获得圆滑且无硅钉的最优形貌，并确定最优形貌的EAS能力极限窗口。这样，使得改善IGSS 1V失效，大幅提升量产良率。