用于晶圆盒的上料装置及其上料方法

本申请涉及一种用于晶圆盒的上料装置及其上料方法。其中，上料装置包括框体设有运输口；转动驱动组件连接于框体靠近运输口位置处；翻转结构可转动连接于转动驱动组件，并位于运输口，翻转结构包括承载组件和锁定件，锁定件用以将晶圆盒锁定于承载组件，翻转结构在转动驱动组件的驱动作用下和晶圆盒一起转动；当翻转结构处于第一状态时，承载组件与运输口相适配，并与框体构成封闭空间，且承载组件的一侧位于框体的外部，用以对接晶圆盒，晶圆盒的蘑菇头位于其上端面；当翻转结构处于第二状态时，晶圆盒的蘑菇头朝向框体内部，并与运输口位置对应。该上料装置能够使得机械手的运动路径得以缩短，设备的占地面积得以减小，同时提高了处理效率。