一种可变扭力机械式晶圆夹持器

本发明公开了一种可变扭力机械式晶圆夹持器，本发明涉及IC制造半导体硅晶圆搬运技术领域，包括第一夹爪，其包括第一手持端和第一夹持端，所述第一手持端和所述第一夹持端之间设置有铰链孔；第二夹爪，其包括第二手持端和第二夹持端，所述第二手持端和所述第二夹持端之间设置有铰链，所述铰链穿过所述铰链孔，将所述第二夹爪与所述第一夹爪铰接；限位装置，其设置在所述第一手持端与所述第二手持端之间，通过调节所述限位装置，调节并固定在通过所述第一夹持端和所述第二夹持端夹持晶圆时，所述第一手持端与所述第二手持端之间的抵近距离；本发明通过设置限位装置避免人为用力过大的操作将晶圆夹碎，可控制扭力保证每片晶圆受力均一致。