一种超高纯石英晶体制造产生的含尘及HCl废气处理工艺及装置

本申请实施例提供一种超高纯石英晶体制造产生的含尘及HCl废气处理工艺及装置，涉及废气处理技术领域，其包括依次串联的粉尘预处理系统和三级喷淋吸收系统，所述三级喷淋吸收系统包括依次串联的一级吸收塔、二级吸收塔和三级吸收塔，所述粉尘预处理系统，所述粉尘预处理系统可保温，所述每个吸收塔都包括塔体和循环水系统，塔体内设有喷头，循环水系统包括循环槽，循环槽管路连接喷头和塔体，所述循环水系统还包括循环水泵，所述三级吸收塔的循环槽内有25％浓度的碱液。本申请具有废气处理过程中避免管路堵塞的效果。