一种单晶硅片加工夹具

本发明公开了一种单晶硅片加工夹具，涉及单晶硅加工技术领域，包括安装环套、驱动齿环、一级夹具组件、导向件、二级夹具组件及驱动单元。安装环套作为承载基体，顶部设驱动齿环，内圈装一级夹具组件，外壁固接导向件，导向件内安装二级夹具组件，驱动单元内置由有安装环套以联动两级夹具。针对不同厚度硅片，薄硅片通过驱动电机一带动驱动齿环，经斜推头推动硅片夹板夹持；厚硅片通过驱动电机二联动驱动环，配合对中抱臂对中后，由硅片抱臂夹持。夹具集成分级夹持与精准导向结构，兼具防护设计，适配性强、夹持精准，能避免硅片损伤，适配自动化加工，提升加工效率与合格率。