铁电金属及其制备方法和应用

本发明提供一种铁电金属及其制备方法和应用。本发明的铁电金属由立方碳化硅晶体以及掺杂于其中的掺杂元素构成，所述掺杂元素的浓度大于或等于1×10cm。本发明的材料可以采用化学气相沉积法、高温溶液生长法、固相烧结法、脉冲激光沉积法等方法制备。由于同时集成了金属的导电性、铁电的开关特性以及压电的力电耦合特性，本发明的铁电金属在高性能换能器、高灵敏度传感器、低功耗微机电系统（MEMS）、下一代多功能电子器件等领域具有巨大的应用价值。