一种基于离子注入处理的耐磨减摩柱塞复合涂层及其制备方法和应用

本发明公开了一种基于离子注入处理的耐磨减摩柱塞复合涂层的制备方法，包括将预处理后的基材清洗后置于工装卡具上采用微波离子源进行离子注入得到过渡功能层后关闭微波离子源，打开金属离子源进行离子注入后，关闭金属离子源后打开微波离子源进行离子注入，交替进行多次得到强化支撑层，将得到强化支撑层的基材置于离子束辅助沉积装置的真空室内，设置溅射靶材为Ag，沉积形成Ag涂层形成润滑功能层冷却后，得柱塞复合涂层；本发明还公开了一种基于离子注入处理的耐磨减摩柱塞复合涂层和在柱塞泵中的应用。