一种抽气结构及薄膜沉积设备、方法

本申请涉及一种抽气结构及薄膜沉积设备、方法，该抽气结构包括：第一层抽气环和第二层抽气环；第一层抽气环包括第一内环和第一外环，所述第一内环被设置为多个分块；所述第一外环和第一内环上均沿周向开设有多个抽气小孔，所述第一内环的多个分块拼接形成与所述第一外环同轴的环形结构，且拼接后分块之间存在间隙，以调节与所述第一外环上对应区域抽气小孔重合度；第二层抽气环设置于所述第一层抽气环下方，包括第二内环和第二外环，所述第二外环上沿周向开设有长腰孔，所述第二内环包括多块调节板，以调节所述第二外环上长腰孔的开孔大小。从而能够分区控制反应腔室的流阻，改善膜厚均匀性或膜厚边缘偏边等问题，使沉积膜厚更均匀。