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一种化学抛光液及抛光方法

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§ Ⅰ

卷宗概要

IPC 分类

C23F 3/06 (2006.01)

本发明涉及材料表面处理领域,特别涉及一种化学抛光液及抛光方法。化学抛光液适用于镍含量在20%~60%且掺杂元素含量小于1%的镍铁合金,包括促进剂、第一酸性剂、第二酸性剂、缓蚀剂、光亮剂和溶剂。第一酸性剂包括硫酸、盐酸、硝酸、磷酸、氢氟酸中的至少一种,且含量大于或等于5%。第二酸性剂包括氟化氢铵、氟化铵、甲酸、苯甲酸、醋酸、丙酸、丁酸、乳酸、草酸、丙二酸、酒石酸、苹果酸和柠檬酸中的至少一种,且含量在1%~50%。第一酸性剂和第二酸性剂总含量在6%~60%。促进剂用于氧化金属镍和金属铁,含量在0.01%~5%。缓蚀剂含量在0.1%~5%。通过结合促进剂、第一酸性剂、第二酸性剂和缓蚀剂,平衡镍铁两相的溶解速度,并以光亮剂提高表面平整度,有助于提高抛光效果。