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磁屏蔽装置和硅单晶拉晶炉
发明专利有效
10权利要求 · 2 独立
§ Ⅰ
卷宗概要
发明人
宋少杰; 龚伟
IPC 分类
C30B 15/20 (2006.01)C30B 29/06 (2006.01)
本发明涉及一种磁屏蔽装置和硅单晶拉晶炉,磁屏蔽装置应用于具有水平磁场发生装置的硅单晶拉晶炉,水平磁场发生装置被配置为使其最大高斯面位于熔体自由液面之上,磁屏蔽装置包括磁屏蔽组件,磁屏蔽组件设于晶体生长区域的外周;磁屏蔽组件包括至少一个磁屏蔽块,沿水平磁场的磁场方向,至少一个磁屏蔽块位于水平磁场的至少一侧,用于减小晶体边缘区域的水平磁场的竖直分量。在完全不改变现有+MGP模式下的其他参数的前提下,仅通过增加一个结构相对简单的磁屏蔽装置,即可在保留+MGP模式熔体稳定、晶体品质高这一核心优势的同时,有效改善其径向氧分布不均的缺陷,解决+MGP模式下硅单晶边缘氧浓度急剧下降的技术问题。