一种高质量增强型氮化镓外延片的制备方法

本申请提供了高质量增强型氮化镓外延片的制备方法，包括如下步骤：步骤1:提供氮化镓异质结外延结构；步骤2:在氮化镓异质结外延结构上采用脉冲式生长法制备氮化镓2D层，步骤3:在氮化镓2D层上制备P型氮化镓帽层；步骤4:在P型氮化镓帽层生长后，进行退火，得到高质量增强型氮化镓外延片。本申请通过脉冲式生长法在氮化铝镓势垒层与P型氮化镓之间生成高质量氮化镓2D层，达到缓解P型氮化镓生长面临的晶格失配和生长条件差异过大的问题；在P型氮化镓生长之后，优化退火工艺，在保证活化率的同时，消除表面退火坑，从而提升氮化镓外延片的可靠性和稳定性，进而得到表面粗糙度小、表面态密度低、无退火坑形貌的高质量增强型氮化镓外延片。