平衡法大抽速真空系统及其应用方法

本发明属于液体变容式机械技术领域，具体涉及一种平衡法大抽速真空系统及其应用方法，平衡法大抽速真空系统包括真空泵以及与真空泵连接的真空主管路，还包括负压舱和平衡管路，负压舱的容积大于真空舱的容积，平衡管路的两端分别连接负压舱和真空舱，真空主管路、第一分支管路、平衡管路与真空舱依次连通，第一分支管路上设置有第一真空阀，真空主管路、第二分支管路、平衡管路与负压舱依次连通，第二分支管路上设置有第二真空阀，平衡管路上设置有平衡调节阀；应用方法包括以下步骤：S1、预抽负压舱；S2、预抽真空舱；S3、快速平衡；S4、补抽至目标压力。本发明能够满足真空舱快速抽气的需求，降低能耗。