一种基于圆光栅莫尔条纹的高精度位移测量方法

本发明公开了一种基于圆光栅莫尔条纹的高精度位移测量方法，突破了现有方法必须已知一个圆心位置的限制。充分利用圆光栅莫尔条纹所特有的各向同性与非周期性，能可靠地实现大范围、高精度的二维位移测量，测量精度可达亚微米级及以下，极大提升了该技术在真实工业场景中的实用价值，采用了圆光栅，相比线性光栅，可同时测量平面内两个方向的位置偏差。此外，圆光栅结构不存在周期性问题，因而彻底避免了线性光栅因相位周期性导致的距离模糊与测量范围狭窄，无需复杂的相位拼接或周期判断算法，简化了系统设计并扩展了有效量程，本方法充分利用了圆光栅莫尔条纹中蕴含丰富位移信息的径向相位变化与高阶角向谐波，显著提高了测量精度。