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一种高灵敏压力-温度双模传感器及其制备方法

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§ Ⅰ

卷宗概要

发明人

赵秀华; 李安庆; 郭运珍; 肖光春; 陈俊

IPC 分类

G01D 21/02 (2006.01)B82Y 40/00 (2011.01)G01D 5/16 (2006.01)G01L 1/22 (2006.01)G01K 7/16 (2006.01)

本发明涉及传感器技术领域,具体涉及一种高灵敏压力‑温度双模传感器及其制备方法,包括:碳纳米管经酸处理后与硅烷偶联剂KH550反应,制得氨基化碳纳米管;磷源与氧化石墨烯水溶液水热反应,制得磷掺杂还原氧化石墨烯;通过Au纳米种子法合成Au‑Ag异质结纳米分散液;将三者混合超声,得到混合分散液;PDMS基底经KH560和聚乙二醇二胺改性,制得改性PDMS基底;混合分散液涂覆于改性基底形成敏感层,制备电极即得传感器。氨基化碳纳米管与磷掺杂还原氧化石墨烯构建三维导电网络,实现高灵敏压力检测;磷掺杂还原氧化石墨烯与Au‑Ag异质结形成肖特基势垒,实现稳定温度传感;改性PDMS与敏感层强结合提升机械耐久性。