一种薄膜封装的微纳光纤悬臂梁听觉传感器及其制备方法

本发明公开了一种薄膜封装的微纳光纤悬臂梁听觉传感器及其制备方法，该听觉传感器包括激光器、微纳光纤、柔性薄膜、光电探测器和示波器；微纳光纤的两个锥形过渡区紧靠在一起，腰区弯曲成环形，构成微纳光纤悬臂梁结构；两个锥形过渡区和腰区，以及腰区弯曲成的环形区域均由柔性薄膜封装保护；柔性薄膜用于接收听觉刺激，并将听觉刺激传递至微纳光纤悬臂梁，从而实现听觉传感；本发明能够实现宽响应带宽、大声压范围的听觉传感，具有易加工、尺寸小、灵敏度高、响应速度快、抗电磁干扰等优点，可广泛应用于声波检测，特别是超声波的检测，在智能机器人、医学成像、人机交互等领域具有很大的应用价值。