一种光路装置、光学检测方法以及检测设备

一种光路装置、光学检测方法以及检测设备，该光路装置包括侧向入射光路组件以及透镜组件，该侧向入射光路组件包括检测光源以及扩束镜组，检测光源提供入射光束，扩束镜组用于对入射光束在第一方向展开和整形形成平行的第一方向检测光束以及对在第二方向展开和整形形成非平行的第二方向检测光束；该第一方向检测光束通过透镜组件出射至待测物的待测表面形成光斑；第二方向检测光束非平行入射至透镜组件表面并具有光束尺寸，第二方向检测光束从透镜组件出射至待测表面并形成上述光斑。本申请提供了一种避免在透镜组件中心开孔的检测光路，可有效降低镜片损伤风险实现更可靠、高效的晶圆缺陷检测。