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半导体先进封装X射线检测机构

发明专利有效
10权利要求 · 1 独立
§ Ⅰ

卷宗概要

发明人

吴元; 官仁发; 颜继永

IPC 分类

G01N 23/18 (2018.01)H10P 74/20 (2026.01)G01N 23/04 (2018.01)B08B 1/12 (2024.01)B08B 5/04 (2006.01)

本发明涉及半导体检测技术领域,尤其涉及半导体先进封装X射线检测机构。其技术方案包括设备本体,本发明通过固定组件可将封装后的半导体位置进行固定,便于半导体的位置固定在检测头的下方,在遇到表面残余浮尘和助焊剂等杂质的半导体时,可通过擦除组件的软毛刷对半导体的表面进行清理,使浮尘和杂质从封装后的半导体上擦除,通过设置吸出组件,可在对半导体表面的浮尘等杂质擦除时,将周围的浮尘和软毛刷上残留的浮尘进行吸出,防止擦出的浮尘等杂质飘落在放置台上,通过设置调整组件,可在需要时调整检测头的角度,便于通过不同角度观察半导体内部的结构,解决了封装后的半导体表面残余的浮尘容易影响检测的问题。