一种自动化MEMS静电传感器静态系统标定装置及方法

本发明公开了一种自动化MEMS静电传感器静态系统标定装置及方法，包括位移控制模块数控滑轨和静电传感器安装平台，产生稳定、均匀的静电场的静电发生模块，控制静电场强度大小、电极板与待测静电传感器距离的微控制器、温湿度传感器，数据采集及处理模块；通过施加不同强度的静电场、改变传感器与静电发生模块的位置，记录静电传感器在不同静电场和位置条件下的输入静电场、输出信号以及此时的温湿度数据，通过最小二乘法拟和同一温湿度条件下静电传感器的输出信号与输入静电场之间的关系，得到传感器的灵敏度及线性度等静态特性参数，从而实现静电传感器的静态系统标定；缩短了标定时间，提高了标定效率。