一种狭缝型铌酸锂电光调制器

本发明提供了一种狭缝型铌酸锂电光调制器。本发明的狭缝型铌酸锂电光调制器，通过设计全覆盖式的二氧化硅上盖层并对其厚度进行调控，降低了光波导中的光场泄露损耗，同时将位置设计在铌酸锂层以及金属电极结构层之间，有效降低金属的吸收损耗；其次对狭缝型光波导结构的狭缝宽度以及狭缝厚度进行优化，减小了有效模式面积，进一步降低了传输损耗；通过特殊电场调控层的设计，在一定程度上降低光场泄露的同时，进行电场的调控，旨在增强波导中心的电场强度，最终实现了降低损耗和高调制效率的兼顾；在电光调制器中，在微波损耗、微波折射率匹配、阻抗匹配三个重要方面进行了结构优化，最终实现低损耗、高效率和大带宽的设计。