光刻机隔震台的碰撞定位方法及设备

本申请涉及芯片制造技术领域，提供一种光刻机隔震台的碰撞定位方法及设备。该方法包括：获取对光刻机隔震台执行低频激励测试所产生的多自由度频域响应数据和多自由度时域响应数据；根据多自由度频域响应数据，识别得到异常耦合路径集合；根据异常耦合路径集合和预设的映射关系，确定异常耦合路径集合对应的候选碰撞表面集合；根据多自由度频域响应数据、多自由度时域响应数据以及候选碰撞表面集合进行区域定位，得到光刻机隔震台中的碰撞定位区域。基于本申请方案，可以实现光刻机隔震台的准确碰撞定位。