应用于等离子刻蚀机的异常监控系统

本申请实施例公开一种应用于等离子刻蚀机的异常监控系统。异常监控系统包括恒流源设备、线圈、线圈检测电路及控制器，恒流源设备被配置为按照预设的刻蚀工艺参数，输出驱动电流；线圈被配置响应于驱动电流的输入，在刻蚀腔内产生磁场以引导等离子体朝向基片的方向运动以刻蚀基片；线圈检测电路被配置为检测线圈的线圈状态数据；控制器被配置为基于线圈状态数据生成设备检修信息。本申请实施例通过线圈状态数据监控线圈的工作状态，并通过设备检修信息将线圈的实际情况予以体现，以便用户快速获知线圈是否处于异常状态，帮助用户快速定位检修方向，避免用户将线圈从刻蚀腔拆卸和检修，却没有发现线圈出现异常所浪费的各种资源投入。