紫外激光器倍频腔的封装方法、装置、设备及介质

本申请涉及紫外激光器技术领域，公开一种紫外激光器倍频腔的封装方法、装置、设备及介质。方法通过提供激光器倍频腔壳体和激光器倍频腔上盖；将倍频晶体模块、分光镜或反射镜安装于激光器倍频腔壳体内；将激光器倍频腔上盖与激光器倍频腔壳体进行密封连接；其中，激光光束传输的光路空间为激光光束在倍频腔内传输路径所对应的空间，倍频晶体模块占据的空间为倍频晶体及其装配结构和温控系统实际占用的空间，调节空间为满足分光镜或反射镜调节需求的最小必要空间，以使密封后的内部空间体积仅为容纳光路、光学器件及必要调节所需的最小体积。通过精准设计倍频腔内部空间，使需清洁的气体体积大幅减少，降低内部气体容积，显著提高气体置换效率。