一种静电自激悬臂梁装置

本发明属于微机电系统、微传感器/执行器技术领域，公开了一种静电自激悬臂梁装置，包括电势浮动绝缘基座、固定在其上的导电悬臂梁、位于自由端两侧的平行电极及邻近自由端的电刷，通过电刷与电极间形成电势差，实现导电悬臂梁在静电力与弹性回复力作用下自激振动。本申请针对现有装置的起振原理缺陷，提出一种基于新起振原理的静电自激微梁装置，相比原有起振原理及装置，本申请所述静电自激悬臂梁装置，起振电压更低，且绕开起振阶段微梁悬浮电势的干扰，工作时机械功或电子信号的输出更稳定，具有更好的实用价值。