微机电麦克风及其制造方法

本发明公开一种微机电麦克风及其制造方法。所述微机电麦克风包括基板、振膜、和背板。基板具有空腔。振膜设置在基板上，并跨越空腔。背板设置在振膜上方，并通过气隙与振膜分离。振膜具有波纹结构。背板具有对应波纹结构且位于波纹结构正上方的一部分。所述部分的高度差小于或等于波纹结构的高度差的20％。