一种低漏电流复合叠层薄膜及其制备方法和应用

本发明属于复合材料制备技术领域，具体公开了一种低漏电流复合叠层薄膜及其制备方法和应用。该制备方法包括以下步骤：S1、对硅片衬底进行清洗预处理；S2、在S1中所述硅片衬底上依次沉积底层ZrO薄膜、中间AlO薄膜和顶层ZrO薄膜，形成ZrO/AlO/ZrO叠层结构，重复沉积，形成叠层薄膜，进行电极沉积，得到低漏电流复合叠层薄膜。本发明公开了一种低漏电流复合叠层薄膜及其制备方法和应用，该复合叠层薄膜可使漏电流密度大幅降低、保证高电容密度，可应用于制备12英寸晶圆电容介质薄膜。