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一种抗闩锁的碳化硅NPN型横向绝缘栅双极型晶体管

发明专利有效
6权利要求 · 1 独立
§ Ⅰ

卷宗概要

发明人

张龙; 马杰; 赵孟耀; 汪振亚; 刘斯扬; 孙伟锋

IPC 分类

H10D 12/00 (2025.01)H10D 62/10 (2025.01)

一种抗闩锁的碳化硅NPN型横向绝缘栅双极型晶体管,包括设于N型衬底的内设P型阱区及N型缓冲区的N型外延层、栅极多晶硅和介质层,在P型阱区内设有N型发射极区、P型源极区和N型源极区,P型源极区和N型源极区具有相同电位;栅极多晶硅位于P型阱区的上方且位于所述源极金属的下方,一端位于N型源极区的上方,另一端位于P型阱区与N型缓冲区间的N型外延层上方,在栅极多晶硅下表面上设栅极氧化层。将传统LIGBT中的PNP型BJT调整为NPN型BJT,避免形成有害的PNPN结构,确保在可能触发闩锁的偏置条件下,器件仅存NPN型寄生BJT,切断了寄生SCR的形成路径和维持电流的再生反馈机制,更具抗闩锁能力。