CNIPA.AI
返回搜索
档案

沟槽栅场效应管、芯片及电子设备

发明专利有效
10权利要求 · 3 独立
§ Ⅰ

卷宗概要

IPC 分类

H10D 30/66 (2025.01)H10D 62/10 (2025.01)

一种沟槽栅场效应管、芯片及电子设备,沟槽栅场效应管包括:衬底、漂移层、第一离子掺杂层、第二离子掺杂层、栅极、隔离层、漏极、源极和屏蔽层。漏极、衬底、漂移层、第一离子掺杂层、第二离子掺杂层和源极依次层叠设置;第一离子掺杂层与第二离子掺杂层的掺杂类型不同;屏蔽层位于漂移层内,且与隔离层接触,屏蔽层在衬底上的正投影位于沟槽在衬底上的正投影之内。通过在栅极下方的漂移层内设置屏蔽层,可以实现对栅极以及栅极与漂移层之间的隔离层进行高压保护。由于屏蔽层在衬底上的正投影位于沟槽在衬底上的正投影之内,从而可以避免屏蔽层阻挡部分导通电流的路径,进而避免增加沟槽栅场效应管的导通阻抗。