一种图像传感器及其制作方法

本发明公开了一种图像传感器及其制作方法，属于半导体技术领域，所述图像传感器包括：衬底；光电二极管，设置在所述衬底中，且所述光电二极管中设置有第一凹部；深沟槽隔离结构，设置在所述衬底中，且所述深沟槽隔离结构位于相邻的所述光电二极管之间，所述深沟槽隔离结构包括透光石墨烯层，所述透光石墨烯层与所述光电二极管贴合；光电响应区，在所述第一凹部中填充石墨烯层形成所述光电响应区，且沿着所述光电响应区的宽度方向，所述光电响应区的深度先增大后减小。通过本发明提供的一种图像传感器及其制作方法，可提高图像传感器的光响应范围和效率。