一种三结柔性太阳电池及其制备方法

本发明公开一种三结柔性太阳电池及其制备方法，包括在GaAs衬底上生长倒装三结太阳电池的外延层，所述外延层从衬底起依次包括GaInP顶电池、GaAs中电池和InGaAs底电池；然后在InGaAs底电池表面蒸镀AZO膜，在AZO膜上交替沉积多对TaO层和SiO层，形成高反射膜；接着将柔性衬底与外延层带有高反射膜的一面永久键合在一起得到键合片；最后进行去除GaAs衬底、制备正面电极和减反射膜，并蚀刻露出部分AZO膜作为背电极，完成太阳电池的制备，本申请通过设计AZO膜和高反射膜组成的背反射模结构，解决了InGaAs底电池对近红外光谱吸收不良的难题。